LED外延片制造技术的关键 2012/5/8
外延技术与设备是外延片制造技术的关键所在。气相外延( VPE)、液相外延(IPE)、分子束外延(MBE)和金属有机化合物气相外延( MOCVD)都是常用的外延技术。大量LED外延片实践证明，MOCVD是一种工业化的实用技术。当前LED外延片，MOCVD工艺已成为制造绝大多数光电子材料的基本技术。
◆MOVCD反应系统的技术要求
先进的MOCVD装置首先应具有～个能LED外延片同时生长多片均匀材料并能长时间保持技术,关键稳定的生长系统，该系统不但有很高的产出量，而且能在短时间内生长出具有预定器件结构的单片材料。
精确的过程控制是保证重复和灵活地调整并生产技术,关键先进LED器件复杂结构的必备技术。先进的MOCVD设备具有精确的对于载气和反应剂的压力与流量控制系统，并配备有快速的气体转换开关和压力平衡装置，并且应选用合适的结构，用于减少反应剂的记忆效应，优化反应剂的浓度，以及改善生长区温度场的均匀分布状况。
优异的控制技术与生产高质量的外延材料技术,关键密切相关。在实际生产中，必须保持影响外延层性能的参数尽可能恒定，特别要捕捉那些敏感参数并加以特殊关注。严密监控外延过程中如生长速率、组分、掺杂、表面形貌与结晶质量等重要参数。
