◆管路、水过滤器及阀门等管件均采用304不锈钢材料;
◆外壳均采用304不锈钢材料制作,表面磨光处理。外观简洁、流畅;
◆工作机器支架及硅片盒夹具均采用耐腐蚀、经特殊亚光电化学处理的不锈钢材料;
◆手动调整,自动排片(需人工上料);
◆125mm~156mm硅片通用,节拍40~60片/min;
◆硅片自动排片机全封闭设计,美观大方;一体式组合脚轮,定位、移动两便;
◆硅片自动排片机配置:磁力驱动循环水泵,水箱总容积0.3m?,硅片水床滑台,滚珠丝杆传动三工位升降花篮座,三菱高分辨率MR-J2S系列伺服电机,三菱可编程序控制器、Autonics传感器,eao按钮;
型号 |
WZPP |
外形尺寸(长×宽×高) |
1490× 960× 2200 |
硅片规格 |
125mm~156mm厚度 0.16~0.2mm |
硅片盒片距 |
4.76mm |
控制系统 |
可编程控制器 |
电源规格 |
单相交流220V50Hz工业电源; |
装机容量 |
0.7KW |
能 耗 |
<0.7KW |
主要材料 |
304不锈钢型材、板材 |
1.产品执行标准:符合国家相关工业技术标准。