随着反向电压的提高,空间电荷区内电场增强,通过势垒区的载流子获得的能量也随之增加。当反向电压接近击穿电压UB时,这些有较高能量的载流子与空间电荷区内的中性原子相遇发生碰撞电离,产生新的电子-空穴对。这些新产生的电子和空穴又会在电场的作用下,重新获得能量,碰撞其它的中性原子使之电离,再产生更多的电子-空穴对。这种连锁反应继续下去,使空间电荷区内的载流子数量剧增,就像雪崩一样,使反向电流急剧增大,产生击穿。所以把这种击穿称为雪崩击穿。
雪崩击穿一般发生在掺杂浓度较低、外加电压又较高的PN结中。这是因为掺杂浓度较低的PN结,空间电荷区宽度较宽,发生碰撞电离的机会较多。