光互连技术从提出以来发展很快,垂直腔面发射激光器的提出对光学器件平面化集成奠定了坚实基础。另外有很多突破性的技术如基于灵巧像素阵列的光电处理单元和计算机生成全息图,,对自由空间光互连的发展有很大的推动作用。近年来也出现了很多新技术和结构,促进其实用化。以下列举了其中的一些新工艺和技术:
1、太位自由空间转换加速器网络
2、选择性重复填充转移光刻组装技术(PL-pack with SORT)和 自组织光波网络技术(SOLNET)
3、基于质子纵深成形(DLP)技术的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)光学元件的制造技术