英国威格斯公司(Victrexplc)在供应链、技术与市场支持及新产品开发方面,持续进行战略性投资,致力为世界各地的客户提供稳定的高性能产品供应。由于其它工程塑料目前在供货方面出现问题,对于寻求高质量、高性能材料稳定供应的终端用户来说,威格斯公司及VICTREXPEEK产品系列提供了非常理想的解决方案。近年来,许多半导体晶圆制造厂已经关注到用于化学机械磨平(CMP)保持环的工程塑料(如某些聚苯硫醚(PPS)品级材料),存在着供应不稳定或
英国威格斯公司 (Victrex
plc) 在
供应链、技术与市场支持及新产品开发方面,持续进行战略性投资,致力为世界各地的客户提供稳定的高性能产品供应。由于
其它工程塑料目前在供货方面出现问题,对于寻求高质量、高性能材料稳定供应的终端用户来说,威格斯公司及VICTREX PEEK 产品
系列提供了非常理想的解决方案。近年来,许多半导体晶圆制造厂已经关注到用于化学机械磨平 (
CMP) 保持环的工程塑料 (如某些聚苯硫醚 (
PPS) 品级材料),存在着供应不稳定或交货期极长的问题。VICTREX PEEK聚合物正好为这些应用领域提供公认的卓越性能。
目前,威格斯公司通过制造商 (fabricator) 的网络为世界各地包括欧洲、中国大陆、TW、日本及韩国等地的许多晶圆制造厂供应 VICTREX PEEK 聚合物。Strasbaugh公司工程项目经理Bill Kalenian说：“我们多年来一直采用 VICTREX PEEK 聚合物制造CMP保持环,客户对效果非常满意。VICTREX PEEK 聚合物因其独特的性能,包括固有高纯度、强度、耐化学品性能及耐磨损性能,被公认为用于 CMP
环的最佳高性能热塑性材料之一。由于 VICTREX PEEK聚合物具有满足严格公差的加工能力,并兼容抛光液 (slurries) 等工艺成分,因此非常适合于 CMP环应用,可以在制造过程中传送更多的晶圆,从而减少停工时间,并降低每片晶圆的成本。” Strasbaug 公司从美国德克萨斯州Humble市的CDI Seals 公司购买VICTREX PEEK聚合物。
威格斯公司美洲区半导体经理 John Walling 称：“这个领域的主要推动力之一是开发更好和更耐磨的CMP环,以配合其它关键CMP设备部件如CMP顶部装置的先进性能。以往,CMP环采用的材料包括PPS,但是实际试验表明,由VICTREX PEEK 聚合物制造的 CMP环,其使用寿命是PPS 产品的2.5倍。威克斯公司深切了解到市场对一致性的长寿命部件的需求,因此正在不断开发材料,从而与这些技术进展保持同步。”
Walling续称：“在半导体市场,尤其是CMP保持环方面,我们的高性能聚芳醚酮材料对于工艺的成败起着决定性作用。有些美国和亚洲客户因着我们的应用专业技术,加上VICTREX PEEK聚合物的固有高纯度、高强度特性以及优良耐化学品性能、耐高温性能和电气性能,以 VICTREX PEEK来取代PPS。VICTREX PEEK聚合物制造的CMP环可以在制造过程中传送更多的晶圆,从而减少停工时间,并降低每片晶圆的成本。”
图1：VICTREX PEEK品级产品与PPS的磨损率对比
数据是采用Rodel抛光垫及
SS12氧化物抛光液,在磨擦 CMP测试仪中心所收集的。这些结果在
多种环境下均已获得验证。
威格斯的供应链战略
威格斯公司商业总监 Blair Souder 称：“我们不可低估半导体领域供应稳定的重要性。对于半导体晶圆制造厂,在需要时能够及时获得材料是非常重要的。晶圆制造厂是每周7天、每天
24小时不停运作的工厂,它们必须稳定地获得高质量而且批次一致的材料供应。如果无法获取所需的材料,因延误而造成的损失是无法估量的。因为这不仅是耽误了晶圆的生产,而且因终端产品推出日期推迟,随后对消费者市场产生的不良影响,也是十分严重的。”
