吉时利仪器公司（Keithley）发布了用于半导体生产的第三代晶圆射频(RF)测量能力的产品。该射频参数测量系统的RF选件解决方案（选配件）,能提供连续、自动、实时的测试和质量监控,操作方便,可获得最高通过率的信息吞吐量,测量质量高,且成本较低。此外,该射频参数测量系统在全球范围内,是目前唯一获得验证的半导体参数测量系统,适合200mm和300mm晶圆厂进行应用参数工艺控制,以及高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。吉时利
吉时利仪器公司（Keithley）发布了用于半导体生产的第三代晶圆射频 (
RF) 测量能力的产品。该射频参数测量系统的RF选件解决方案（选配件）,能提供连续、自动、实时的测试和质量监控,操作方便,可获得最高通过率的信息吞吐量,测量质量高,且成本较低。 此外,该射频参数测量系统在全球范围内,是目前唯一获得验证的半导体参数测量系统,适合
200mm和
300mm晶圆厂进行应用参数工艺控制,以及高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。
吉时利公司的RF选件包括S680型SimulTest选件、自动探针板卡（可更换）及测试结构,可在探针touchdown中及相同的探针触地范围内进行同步直流和射频测量。这一点可以从S680型参数测试结果得到证实,吉时利公司的RF选件具有DC-RF同步的直接驻泊（direct-dock）功能,其运行频率为
40GHz。
